في مجال تصنيع معدات أشباه الموصلات ، تعتبر حلقات بوابة Polysilicon مكونات رئيسية في عملية تصنيع الرقائق. عند الترويج لتوطين المكونات الأساسية ، واجهت شركة تصنيع معدات أشباه الموصلات المحلية مشكلة صعبة في المعالجة - كان من الضروري إكمال طحن محيط داخلي عالي الدقة وتجهيز الأخدود على حلقات polysilicon بقطر 290 ملم وسمك 45 ملم ، وكانت العمليات التقليدية صعبة لتلبية احتياجات الانتقام.
معالجة الخلفية ونقاط ألم الصناعة
A. معالجة الخلفية
نظرًا لخصائصه الممتازة لأشباه الموصلات ، يستخدم polysilicon على نطاق واسع في الأجزاء الهيكلية للبوابة من المعدات مثل intchers الأيوني والفرق. تحتاج هذه المكونات إلى إزالة أكثر من 7 0} من المواد من خلال عمليات الطحن المتعددة ، مع التأكد من أن استدارة الكفاف الداخلية أقل من أو تساوي 0.
b. معضلة المعالجة التقليدية
1. آلات الطحن التقليدية لها كفاءة معالجة منخفضة ، وقطعة واحدة تستغرق أكثر من 8 ساعات
2. معدل التقطيع أثناء معالجة الفتحات يرتفع إلى 35 ٪ ، مما يؤدي إلى تخفيض الدُفعات
3. انحراف دائرية الدائرة الداخلية هو> 0.
حلول Bebishen: التكنولوجيا بالموجات فوق الصوتية + عملية تعاونية عالية السرعة
في ضوء خصائص المعالجة للمواد الصلبة والهشة ، قام فريق Bishen التقني بتخصيص حل ثلاثة في واحد:
1. نظام النقش والطحن الدقة بالموجات فوق الصوتية: الاهتزاز 20 كيلو هرتز عالي التردد يقلل من مقاومة القطع بنسبة 50 ٪
2. DDR العمودي عالي السرعة القرص الدوار : 3000 دورة في الدقيقة ± 1 ″ الدقة ، وتحقيق التحكم في مسار مستوى النانو
3. حل الأداة المركب التدرج :
يتم استخدام الأدوات المطلية بالماس لإزالة المواد السريعة أثناء المعالجة الخشنة
يتم تبديل أدوات PCD بالموجات فوق الصوتية للمعالجة الدقيقة
البيانات المقاسة تعمل على تحديث معيار الصناعة
في التحقق من خط إنتاج العملاء ، تم تحقيق حل Bishen:
زادت كفاءة المعالجة بمقدار 2.8 مرة ، وتم ضغط وقت معالجة قطعة واحدة إلى 2.8 ساعة
تم تخفيض معدل تقطيع الفتحة من 35 ٪ إلى 0. 5 ٪ أو أقل
يتم التحكم بشكل ثابت في دائرية الدائرة الداخلية في 0. 003-0. 005mm
خشونة السطح أقل من أو تساوي 0. 4μm ، وهو أفضل من مستوى المعالجة للمعدات المستوردة
زاد هذا الاختراق من معدل تأهيل الإنتاج الضخم من حلقات بوابة Polysilicon الخاصة بالعملاء من 61 ٪ إلى 98.7 ٪ ، لتحل محل الأجزاء المستوردة بنجاح.
عنبيشن
بيشنوقد شاركت بعمق في مجال التصنيع الدقيق لأكثر من عشر سنوات ، مع التركيز على حل مشاكل المعالجة "التي تحتوي على الرقبة" في صناعات أشباه الموصلات وغيرها من الصناعات. تم تجهيز 7500 متر مربع من المصنع الذكي بوحدات التكنولوجيا الأساسية مثل المعالجة المدعومة بالموجات فوق الصوتية وربط الخمسة محاور. وقد وفرت حلول معالجة الأجزاء الرئيسية لأكثر من 20 مصنعين معدات أشباه الموصلات المحلية. اجتازت التقنيات ذات الصلة شهادة خاصة معدات ISO9001 وأصحاب أشباه الموصلات ، وتواصل المساعدة في عملية استقلال معدات التصنيع المتطورة.
