أحد عملاء أشباه الموصلات لدينا-أحد مصنعي المعدات الأصلية (OEM) في الاتحاد الأوروبي- والمتخصص في الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية (UV)-واجهنا تحديًا: تصنيع-عالية الكثافةلوحة التبريد متناهية الصغرمصنوعة من الألومنيوم 6061-T6. المكون المطلوب أكثر1,200 فتحة صغيرة-.، كلØ 0.18 ملم، مع أنسبة العمق-إلى-القطر هي 10:1، والدقة الموضعية أقل من ±5 ميكرومترعبر كامل سطح الجزء.
وشملت التحديات الرئيسية ما يلي:
كسر الأداةبسبب نسب الارتفاع المتطرفة
صيانةاستقامة الثقبعلى أعماق الحفر الطويلة
ضمانإخلاء الشريحةبدون تشويه الثقوب الصغيرة-.
منعالتشويه الحراريأثناء الحفر المستمر
ولمعالجة هذه الأمور استخدمنا:
أدوات الحفر الدقيقة-المتخصصةمع قنوات التبريد الداخلية
متعدد-الخطواتاستراتيجيات الحفر بيكمع التحكم في السكون والتراجع
بمساعدة الموجات فوق الصوتية-التنظيفلضمان إزالة الشريحة
قيد -المعالجةالاستقرار الحراريبين التمريرات للتحكم في التوسع
بعد التكرارات والمحاكاة المتعددة، قمنا بتنفيذ2-تمرير عملية الحفر والتوسيعالتي حققت هندسة متسقة للفتحات وأسطح داخلية خالية من النتوءات. ما بعد-فحص التصنيع باستخدام500× مجهر رقميوCMM مع مسح التحقيقمؤكد:
جميع الثقوب في الداخل±3 μmفرقة التسامح
خشونة السطح أدناهرا 0.2 ميكرومتر
انحراف تباعد الفتحة-إلى-الفتحة بالداخل±4 μmعبر مصفوفة 150 مم × 150 مم
اجتاز المكون اختبارات تسرب الهيليوم، واختبار كفاءة النقل الحراري، وتم قبوله في التصميم التجريبي للعميل دون إعادة العمل.
