في تصنيع معدات أشباه الموصلاتميزات النطاق -الصغرى مثل فتحات التبريد، أو قنوات التفريغ، أو قنوات-السوائل الدقيقةليست اختيارية-إنها مهمة-حرجة. هذه الهياكل الصغيرة تتطلبالدقة القصوى والحواف النظيفة والاتساقوغالبا ما يكون قطرها أقل من 100 ميكرون.
ما أهمية دقة الفتحات الصغيرة-؟
تعتبر القنوات الصغيرة ضرورية في أجزاء مثل:
لوحات الباردة والمصارف الحرارية
التجميعات البصرية ورؤوس الليزر
منافذ فراغ تشاك الويفر
مكونات التردد اللاسلكي العالي-
حتى أصغر انحراف في القطر، أو المحاذاة، أو جودة السطح يمكن أن يعطل تبديد الحرارة، أو الختم الفراغي، أو ديناميكيات الموائع-مما يؤدي في النهاية إلى الإضرار بأداء النظام.
تحدي التصنيع باستخدام الحاسب الآلي
تمثل المعالجة الدقيقة للثقوب-صعوبات فريدة من نوعها:
هشاشة الأداةأثناء القطع-بسرعة عالية
خطرتكوين نتوءات أو شقوق- دقيقة
قضايا إخلاء الشريحةمما يؤدي إلى انسداد
التشوه الحراريخلال العمليات الممتدة
على سبيل المثال، أثناء المعالجةقنوات تبديد الحرارة الدقيقة-في لوحة باردة من أشباه الموصلات، فإن انحراف لدغ أو شكل بضعة ميكرونات فقط يمكن أن يقلل من التوصيل الحراري ويؤثر على استقرار النظام.
كيف نتعامل معها
فيدقة بيشننحن نجمعالتحكم في المغزل بسرعة عالية, أدوات ذات قطر صغير-.، واستراتيجيات CAM التكيفيةلضمان:
تقع استدارة الثقب واستدقاقه ضمن حدود التحمل المشددة
لدغ-تشطيبات مجانية بدون عمليات ثانوية
تحكم متعدد المحاور-للميزات الدقيقة العميقة أو ذات الزوايا
اختياري في-تدفق الهواء أو بالموجات فوق الصوتية لإزالة الرقائق
نتائج مثبتة
لقد قمنا بتسليمها لعميل أشباه الموصلات الأخيرلوحات بالوعة الحرارة الألومنيوممع أكثر من 500 ثقب صغير، قطر كل منها أقل من أو يساوي 0.2 مم، ضمن تفاوت ±5 ميكرومتر وRa أقل من أو يساوي 0.2 ميكرومتر. اجتازت الأجزاء عملية الختم الفراغي-والتحقق من صحة التوصيل الحراري-دون إعادة العمل.
دعونا نتحدث عن التفاصيل الدقيقة الخاصة بك
الدقة على المستوى الجزئي تفصل-الأنظمة عالية الأداء عن الأنظمة غير المستقرة. إذا كانت الأجزاء الخاصة بك تتطلبثقوب دقيقة-أو قنوات دقيقة لا تشوبها شائبة، نحن على استعداد للمساعدة-من النماذج الأولية إلى الإنتاج الحجمي.
