في عالم تصنيع معدات أشباه الموصلات،لا تتعلق جودة السطح بالمظهر الجمالي فقط-إنما تتعلق بالوظيفة وطول العمر والدقة. يجب ألا تفي المكونات مثل ظرف الرقاقة وحوامل العدسات والأدلة الدقيقة بتفاوتات الأبعاد فحسب، بل أيضًامتطلبات الانتهاء من السطح القصوى، في كثير من الأحيان أدناهرا 0.1 ميكرومتر.
لماذا يعتبر النانومتر-مستوى تشطيب السطح مهمًا
تعتمد معدات أشباه الموصلات عالية الأداء-بشكل كبير على دقة الاتصال والتوافق مع غرف الأبحاث. يمكن لخشونة السطح التي تتجاوز عتبات النانومتر أن:
تتداخل معدقة وضع الرقاقة
يزيدالاحتكاك والتآكلأثناء الحركة
سببتشتت الإشارة الضوئية، مما يؤثر على الطباعة الضوئية
يخلقمصائد الجسيمات، وزيادة مخاطر التلوث
على سبيل المثال، أحلقة دعم مرحلة الويفرمع خشونة السطح التي تزيد عن المواصفات، يمكن أن يتسبب ذلك في حدوث اهتزازات دقيقة، مما يقلل من دقة تحديد الموقع ويقلل الإنتاجية.
تحدي التصنيع باستخدام الحاسب الآلي
إن الوصول إلى سطح نهائي بـ Ra أقل من أو يساوي 0.1 ميكرومتر يتجاوز بكثير عمليات CNC القياسية. غالبًا ما تترك الأدوات والمعلمات التقليدية خلفها-خدوشًا دقيقة أو علامات تصنيع أو إجهادًا متبقيًا-، وكلها أمور غير مقبولة في بيئات أشباه الموصلات.
منهجنا تجاه مستوى جودة النانومتر-.
فيدقة بيشن، لقد قمنا بتطوير مسارات عمل التصنيع خصيصًا للتطبيقات الحساسة للأسطح-:
استخدامأدوات كربيد الحبوب الدقيقة جدًا-مع هندسات مخصصة
يمر التلميعتم دمجها في مسارات الأدوات النهائية
أنظمة التحكم في سائل التبريدلتجنب الحرارة-التمزقات الدقيقة- الناتجة عن الحرارة
التنسيق معأجهزة CMM ومقاييس تداخل الضوء الأبيض-.للتحقق من الخشونة
يخضع كل جزء لفحص متعدد-مراحل ليس فقط لتفاوتات الأبعاد، بل أيضًااتساق السطح الفرعي-ميكرونعبر جميع طائرات الاتصال.
حالة حقيقية: مرآة-ألواح دعم الويفر النهائية
طلب أحد العملاء صفائح من رقائق الألومنيوم ذات تشطيب سطحي أفضل منرا 0.05 ميكرومتر، موحدة في جميع أنحاء المباراة. باستخدام تقنيات التشطيب المحسنة عالية السرعة- وإستراتيجيات التلميع المخصصة، قمنا بتسليم مكونات تتجاوز المواصفات -جاهزة للتجميع في غرف الأبحاث على مستوى EUV-.
لا تدع تشطيب السطح يقوض نظامك
يمكن أن يؤدي النقص السطحي على المستوى النانوي إلى إضعاف آلياتك الأكثر دقة. إذا كان طلبك يتطلبتشطيبات من الدرجة البصرية-.، أوأداء احتكاك متفوقتحدث معنا. سنساعدك على ضمان تلبية الأجزاء الخاصة بك لكليهماتسامحونَسِيج.
