دراسة حالة: اختراق في معالجة ركائز زجاج الكوارتز
كائن المعالجة: ركيزة من زجاج الكوارتز للطباعة الحجرية الضوئية
تحديد:
مادة: زجاج كوارتز عالي النقاء بنسبة 99.99%-
ميزات المعالجة: شطب مزدوج الجوانب C0.2- + جدار جانبي رأسي
متطلبات السطح: Ra <150 نانومتر (درجة المرآة)
أبعاد: 145 × 145 × 5.5 مم ± 0.01 مم
تحليل نقاط الألم في معالجة الصناعة
باعتبارها المواد الاستهلاكية الأساسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات، فإن أجزاء الكوارتز للطباعة الحجرية الضوئية تحتاج إلى تلبية ثلاثة معايير صارمة في نفس الوقت: نفاذية المواد > 99.6%، والتسامح الأبعاد ± 10μm، وخشونة الجدار الجانبي Ra < 150nm. تستخدم طريقة المعالجة التقليدية عملية طحن عجلة الطحن، والتي لها مشكلتان رئيسيتان في الصناعة:
اختناق الكفاءة: تستغرق معالجة القطعة الواحدة-ما يصل إلى 120 دقيقة
العيوب السطحية: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 نانومتر
فقدان الأداة: عمر الأداة العادي أقل من 50 قطعة
بيشينالابتكار التكنولوجي للحلول
ونظرا للخصائص الصلبة والهشة لمواد الكوارتز، مركبحل المعالجةتم اعتماده:
• نظام النقش والطحن الدقيق بالموجات فوق الصوتية 20 كيلو هرتز
• قاطعة الطحن ذات الشفرة الدقيقة -PCD المتكاملة (الحافة R0.05mm)
• عملية قطع الطبقات المحورية (2 ميكرومتر لكل طبقة)
مقارنة مزايا المعالجة المقاسة
ومن خلال التحقق من العمليات ومقارنتها، تم تحسين المؤشرات الرئيسية بشكل ملحوظ:
قيمة تطبيق الصناعة
نجح هذا الحل في حل مشكلة المعالجة "عنق الزجاجة" في عملية توطين أجزاء آلة الطباعة الحجرية، مما أدى إلى زيادة القدرة الإنتاجية لركيزة الكوارتز من 10 قطع يوميًا إلى 50 قطعة، ومعدل تأهيل المعالجة من 63% إلى 98.5%. وفقًا للكشف عن مقياس تداخل ليزر زايس، فإن القيمة الكهروضوئية لدقة سطح المعالجة هي<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
عنبيشين
دقة بيشنمتخصصة في معالجة أجزاء الأجهزة الدقيقة، مع 7500 متر مربع من ورش العمل القياسية، وتغطي خدماتها الفضاء الجوي والمعدات الطبية والروبوتات الصناعية وغيرها من المجالات. ومن خلال القدرة على معالجة الأجزاء الهيكلية المعقدة وشهادة نظام ISO، فإنها توفر للعملاء حلول عملية كاملة- بدءًا من التصميم والتطوير وحتى الإنتاج الضخم.
